Ellipszometria
Spektroszkópiai ellipszométerek HORIBA Scientific innovatív technológiát alkalmaz a nagyfrekvenciás polarizációs moduláció mérésére mechanikus mozgás nélkül, lehetővé téve a ššší sebesség, ššší tartomány és šší;ší pontosság a vékonyý rétegek és felületek jellemzésében a hagyományos ellipszométerekkel összehasonlítvaání.
Univerzális spektroszkópiai ellipszométer, amely a VUV-tól a NIR-ig széles spektrális tartományt fed le.
AzUVISEL 2 VUV egy új generációs fázismodulált ellipszométer VUV mérésekhez. Ez az egyetlen olyan spektroszkópiai ellipszométer a piacon, amelyet úgy terveztek, hogy a leggyorsabb vékonyréteg méréseket végezze a legnagyobb hullámhossz-tartományban, 147 és 2100 nm között.
Enyereségek:
- spektrumtartomány 147 nm-től 2100 nm-ig
- gyors mintatöltés
- gyors öblítés
- alacsony nitrogénfogyasztás
- nagyon gyors mérés
- két üzemmód: nitrogén alatt vagy primer vákuumban
Kompakt spektroszkópiai ellipszométer
A Smart SE a HORIBA Scientific-től egy sokoldalú spektroszkópiai ellipszométer a gyors és pontos vékonyréteg mérésekhez. Néhány angströmtől 20 µm-ig jellemzi a vékonyréteg vastagságát, az optikai állandókat (n,k) és a vékonyréteg szerkezeti tulajdonságait (pl. érdesség, optikailag gradált és anizotróp rétegek stb.).
A 450 és 1000 nm közötti spektrális tartományban másodpercek alatt történik a mérés, az ellipszometriai adatok elemzése pedig a DeltaPsi2 szoftverplatform segítségével történik. A szoftver két szintű szoftvert integrál, hogy megfeleljen mind a rutinelemzésnek előre meghatározott receptekkel, mind a fejlett elemzésnek a legkorszerűbb ellipszometriai modellezéssel..
Enyereségek:
- spektrális tartomány: 450 nm-től 1000 nm-ig
- spektrális felbontás: jobb, mint 3 nm
- Mérési idő: <1 s és 10 s között
- beesési szög 45°-tól 90°-ig 5°-os lépésekben
Automatikus spektroszkópiai ellipszométer
Auto SE egy új vékonyréteg mérőműszer, amely lehetővé teszi a vékonyréteg minták teljesen automatikus elemzését egyszerű vezérléssel. A mintaelemzés csak másodpercekig tart, és egy teljes jelentést ad, amely teljesen vékony rétegeket – rétegvastagság, optikai állandók, felületi érdesség és réteg inhomogenitások. Az Auto SE egy nagy teljesítményű műszer, amely automatikus XYZ-állványt, valós idejű mérési helymegjelenítést és automatikus nyomméret-választást tartalmaz. Számos tartozék áll rendelkezésre az alkalmazások széles skálájához.
Enyereségek:
- spektrális tartomány: 440-1000 nm
- sávméret: automatikus kiválasztás 500×500 µm; 250×500 µm; 250×250 µm; 70×250 µm; 100×100 µm; 50×60 µm; 25×60 µm
- érzékelés: CCD – felbontás: 2 nm
- goniométer: 70°-on rögzített – 66°-ra és 61,5°-ra állítható
- pontosság: NIST 100nm d ± 4Å, n(632,8nm) ± 0,002
- ismételhetőség: NIST 15nm ± 0,2 Å
Spektroszkópiai ellipszométer a FUV-tól a NIR-ig
Az UVISEL Plus ellipszométer a modularitás és a teljesítmény legjobb kombinációját kínálja a vékonyrétegek, felületek és határfelületek fejlett jellemzéséhez. Az új UVISEL Plus a legújabb, kettős moduláción alapuló FastAcq adatgyűjtési technológiát, új elektronikát, adatfeldolgozást és nagysebességű monokromátort tartalmaz, és gyors, nagy felbontású mintaméréseket tesz lehetővé a 190 és 2100 nm közötti tartományban 3 perc alatt..
Enyereségek:
- nagy pontosság és érzékenység
- moduláris felépítés
- nagy spektrális tartomány: 190-2100 nm
- vékony filmvastagság 1Å és 50 µm között
Szüksége van garanciára vagy garancia szolgáltatásra?
Az eszközökön szervizelési tevékenységet végzünk. Az installációt, a képzést, a rekonstrukciót és a karbantartást a teljes használati idő alatt végezzük.